全國服務咨詢熱線：
13911821020
13911821020
產品分類
Product Category相關文章
Related Articles詳細介紹
| 品牌 | 華測儀器 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
華測儀器Huace-800G真空晶圓退火爐
價格僅供參考，如需獲取更詳盡的產品技術規格書、定制方案或應用案例，歡迎致電我司技術工程師
Huace-800G真空晶圓退火爐由華測儀器生產，推出了采用高準度、高反射率拋物面搭配高性能加熱源的解決方案，在升降溫過程中仍能保持穩定均勻的溫度場，可實現寬范圍均熱區、高速加熱與高速降溫。樣品由石英管保護，無氣氛污染，更適合半導體工藝使用。設備的反射鏡采用高準度曲率設計，通過五軸加工系統制造，以維持更高的反射效率。反射鏡主要分為圓形和拋物線型兩種，可滿足不同材料在不同溫度控制條件下的測試需求。
產品參數
產品型號：Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G
產品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產品
溫度范圍：RT ~ 800/1200/1450°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
＜25℃/s（SiC載盤）
溫度均勻度：±5 °C ≤ 500 ℃
±1 % > 500 ℃
溫度控制重復性：±1 °C
溫控方式：PID 溫控
應用領域
電子材料
半導體用硅化合化的PRA(加熱后急速降溫)
陶瓷與無機材料
半導體用硅化合化的PRA(加熱后急速降溫)
鋼鐵和金屬材料
薄鋼板加熱過程的數值模擬
其他
高溫拉伸壓縮試驗爐
產品咨詢
電話
微信掃一掃
當前位置：
地址：北京海淀區
郵箱：LH13391680256@163.com
傳真：